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扣扣2315341796 扣扣人：吴巧燕 基于RT-Linux的嵌入式PLC设计及实现
在数控机床中,通常用可编程控制器(PLC)对机床开关量信号进行控制。PLC可靠性高,使用方便。但在大多数数控机床,特别是经济型数控机床中,要求的输入输出点数并不多,通常在60点以下,因此,为了降低数控机床成本,在基于工业PC机的数控系统中,可以采用开关量I/O板加外接继电器,配合主机的软件对机床开关进行控制。但如果PC机采用单任务操作系统(如DOS),数控系统的所有任务运行都置于一个总体的消息循环中,软件的模块化和可维护性较差,系统故障的风险相 对集中,而且不能充分利用PC机系统资源。而采用非实时多任务操作系统(如Windows)时,Win32API的设计没有考虑到实时环境的开发用途,其系统调用的效率不高,不能满足数控系统PLC控制的实时性要求。
为此,本文提出一种基于RT-Linux操作系统的嵌入式PLC,利用RT-Linux的开放性、模块化和可扩展性的系统结构特性和多线程/多任务的系统环境,在保证实时性的同时,使故障风险相对分散。
数控系统嵌入式PLC的硬件结构
数控系统硬件建立在通用工业PC的开放体系之上,数控系统嵌入式PLC硬件包括:工控机及其外围设备,基于ISA总线的开关量输入输出接口卡,光电隔离模块,继电器输出模块。其结构如图1所示。
工控机采用RedHatLinux810+RTLinux311操作系统,数控系统的人机界面、数控代码处理、轨迹规划、参数管理以及PLC控制都通过工控机由软件来实现,不需要独立的PLC控制器,减少了数控系统对硬件的依赖,有利于提高系统的开放性。
I/O输入输出信息通过PC机I/O接口卡实现主机与伺服接口模块和I/O接口模块之间的信息交换,PC机I/O接口卡基于ISA或者PCI总线。
RT-Linux的体系结构
RT-Linux是基于Linux系统并可运行于多种硬件平台的32位硬实时操作系统(hardreal-timeoperatingsystem)。
它继承了MERT系统的设计思想,即以通用操作系统为基础,在同一操作系统中既提供严格意义上的实时服务,又提供所有的标准POSIX服务。RT-Linux源代码公开,易于修改,使系统成本降低,源代码的公开使数控系统的开发摆脱了对国外软件公司的依赖,有利于提高数控软件国产化程度。
RT-Linux是基于Linux并可运行于多种硬件平台的多任务实时操作系统。通过修改Linux内核的硬件层,采用中断仿真技术,在内核和硬件之间实现了一个小而高效的实时内核,并在实时内核的基础上形成了小型的实时系统,而Linux内核仅作为实时系统**优先级的任务运行。对于普通X86的硬件结构,RT-Linux拥有出色的实时性和稳定性,其**中断延迟时间不超过15μs,**任务切换误差不超过35μs。这些实时参数与系统负载无关,而取决于计算机的硬件,如在PII350,64M内存的普通PC机上,系统**延迟时间不超过1μs。RT-Linux按实时性不同分为实时域和非实时域,其结构如图2所示。
实时域在设计上遵循实时操作系统的设计原则,即系统具有透明性、模块化和可扩展性。RT-Linux的实时内核由一个核心部分和多个可选部分组成,核心部分只负责高速中断处理,支持SMP操作且不会被底层同步或中断例程延迟或重入。其它功能则由可动态加载的模块扩充。RT-Linux把不影响系统实时性的操作(即非实时域的操作)都留给了非实时的Linux系统完成。基于多任务环境的Linux为软件开发提供了丰富的系统资源,如多种进程间通讯机制,灵活的内存管理机制。
嵌入式PLC的设计及实现
嵌入式PLC的模块组成
数控系统的PLC控制模块实时性要求较高,因而必须在系统的实时域内运行。根据通用数控系统的PLC控制以及数控系统软件模块化设计的要求,将数控系统的PLC控制模块作为RT-Linux系统的实时任务之一,其优先级和调用周期取决于数控系统各任务的实时性要求以及控制要求的响应时间。PLC控制模块主要完成数控系统的逻辑控制,而被控制的输入输出也就是I/O的输入输出由PC机I/O接口卡输入输出模块来完成,即完成数控系统的PLC控制需要两个RT-Linux实时任务,如图3所示,这两个任务分别为RT-Task1(以下称“适配卡输入输出”)、RT-Task2(以下称“PLC控制”)。
图3是基于RT-Linux系统的嵌入式PLC实时任务关系图,其中适配卡输入输出主要是完成数控系统的输入输出,即各轴位置控制命令的输出、I/O的输出、I/O输入以及位置反馈输入,它实际上是数控系统控制卡的设备驱动模块,其优先级在数控系统的各实时任务中为**。根据其硬件特征以及运动控制要求,其响应周期为100μs,响应时钟周期由PC机I/O接口卡上的硬件定时器产生。根据RT-Linux系统对硬件中断的响应机制,输入输出控制任务的实时性是可以保证的,这一点在我们的数控系统已经得到验证。
图3中PLC控制主要是完成数控系统的PLC控制功能,其任务优先级低于适配卡输入输出,同时也低于数控系统的精插补实时任务和位置伺服实时任务。根据通用数控系统的PLC控制要求,确定其响应周期为5ms,响应周期由RT-Linux的软件定时器产生,根据RT-Linux系统的实时多任务调度机制,PLC控制任务的实时性是可以保证的。在实际应用中也得到验证。
嵌入式PLC的实时任务模块数据通讯
完成数控系统PLC控制的两个实时任务之间由于需要输入输出的数据量(一般情况下为64输入,64输出,但输入输出根据需要还可以扩展)不太大,因而采用共享内存的通讯方式,在适配卡输入输出和PLC控制
两个实时任务之间开两块共享内存,一块用于适配卡向PLC控制传输I/O口状态信息,另一块用于PLC控制向适配卡输入输出任务传输经PLC逻辑处理后的控制信息。
在这里,两个实时任务间不采用RT-FIFO进行通讯的原因在于这两个实时任务间通讯的数据量不是很大,而这两个实时任务运行周期差别较大,采用RT-FIFO传输数据,为了避免FIFO的阻塞,相应地要增加两个任务间的协调机制,这样的通讯效果未必比采用共享内存好,而且共享内存的读写速度比FIFO相对较快。
嵌入式PLC的实时任务的实现
适配卡输入输出为动态可加载模块,适配卡输入输出模块(任务)以100μs为周期的硬件定时中断,完成各轴位置控制指令和I/O的输出、各轴位置反馈值和I/O的输入,适配卡输出值来自于位置伺服任务和PLC控制任务,输入值来自于适配卡的输入接口。PLC控制模块(任务)同样也是一个动态可加载模块,它以5ms的软定时,周期性地从它与总控模块通讯的RT-FIFO读取控制信息(如M指令,S指令及T指令),同时从它与适配卡输入输出模块通讯的共享内存中读取I/O信息,然后进行逻辑处理,**后将结果写入共享内存供适配卡输入输出模块读取并输出。
结论
目前该嵌入式PLC模块已成功应用于清华大学精仪系制造工程研究所THHP-III数控系统(基于RedHatLinux8.0+RTLinux3.1)中,该模块可以满足对普通数控系统和加工中心PLC控制要求。
MILLIPORE 91039-102-01
Tokico MC-4 MC4
Indramat TPT #10212
Epsilon IMT-SU IMTSU
NSD VS-T01-0.3
Termiflex TP1000 #10920
WTC TB90-P02A #24712
ALLEN BRADLEY 1771-HD
Vickers 202809 #20289
AGP3750-T1-D24
FISHER DPR900X1-A7
Maple Systems HMI520T-007
Beijer E710
Powerpath Wheelock PS-8 NAC
FIRELITE MS-5UD-3
AVG EZP-S8C-F
Keyence MT-250
ALLEN BRADLEY 2711-KA17L1
YOKOGAWA 2302-32-VLE-2
GE FANUC IC754VSF12CTD
SANYO STNM-DP E A STNM-DPEA
NAIS GK-30
KUKA KR C1 KCP1 69-000-398
Keba BT081 2064A-0
Keba SI232 电路板
Keba 65874
Keba TMS 28-8-2002 #25228 电源板
Keba E-SEK/B 电路板
Keba E-16 E-16-DIGOUT-G CARD
Keba E-16-DIGOUT-PLUS #6927
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Keba E-32-DIGIN Nr.13214 数字量输入卡
Keba II011 2005B-0 #22740 电路板
Keba EID 101 DC 162/B DC162 机器人输入输出模块
Keba DC 161/IP20/17369 #18584 电路板
Keba DI-325/B DI325B
Keba D1323F E-7TEMP
Keba D1323G-1 E-7TEMP
Keba D0 321 D0321
Keba PS 240/A #18249 电源
Keba FP005/A #18252 电源
Keba FP005/A #18251 电源
Keba 02203-6238 022036238
Keba 02203-6206 022036206
Keba HT401 #24886
Keba HT401-222-4/0 TP-TSX-CHR
Keba HT401-8/BENNING/5.5M HT4018BENNING55M
Keba HT401-CPU #35291
Keba HT501 #25242
Keba HT4-1684617731 HT41684617731
Keba KETOP-C100H/64049/05 KETOPC100H640490
Keba T50
Keba CB211 接口盒
Keba CC90 / CC80 / Buhl
Keba CR041/24680 #18253 机架
Keba GVME600SC-B GVME600SCB
Keba GVME600SC-B #31866 电路板
Keba VI501
Keba K2-700 OP750/B
Keba No.D1432B, E-8-ANALOG, CC90, EC88
Keba No.1825E-1 E-PS-24V 电源卡
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Asyst 04290-201
Asyst 04600-002 4600-002
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Asyst 15532-006
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Asyst 9700-4152-001
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Asyst 9701-0471-03 Rev: A
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Asyst CS-7100 机器人控制器
Asyst CS-7100S 0190-14191 机器人控制器
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Asyst ATR 9000 RFID
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Asyst MSC-6610 通信控制器
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Beijer BIGMAC-A
Beijer E150
Beijer E300 Ver 02750-04380
Beijer E300 Ver 02710
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Beijer E615 03620 控制面板
Beijer E615 LCD Operator Interface 24VDC
Beijer E700 02440B-04420
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Beijer E900T
Beijer E900VT
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Beijer Exeter-K70 Operator Interface Panel
Beijer MTA-250-L
Beijer H-T50b-S
Beijer MAC90
Beijer MAC50 00520
Beijer MAC40+
Beijer MAC40
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Beijer IFC PBDP
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Beijer QSI QTERM-K65
Beijer CR01
Cincinnati Milacron BDS4-210-23-414W32
Cincinnati Milacron BOARD 32KX9
Cincinnati Milacron 3-700-0200A 电源
Cincinnati Milacron 3-533-0461G
Cincinnati Milacron 3-424-2076A #6210SO
Cincinnati Milacron 6SC6101 单锭轴传动
Cincinnati Milacron 3-531-3399A 电路板
Cincinnati Milacron 3-738-2725A 机器人控制器
Cincinnati Milacron 3-531-3387A 电路板
Cincinnati Milacron 3-533-0979G
Cincinnati Milacron 3-351-3600A 扩展板
Cincinnati Milacron 3-531-4398A 电路板
Cincinnati Milacron 3 533 0700G
Cincinnati Milacron i3989409
Cincinnati Milacron A850SX 3-542-1178A
Cincinnati Milacron A850SX 3-542-1014A
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Cincinnati Milacron 239400
Cincinnati Milacron 3-533-0170 35330170 存储板
Cincinnati Milacron 3-700-0146A 电源
Cincinnati Milacron 3-533-0839G 电路板
Cincinnati Milacron 3-542-1171A
Cincinnati Milacron 3-700-0135A 电源
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Cincinnati Milacron A950 SXCPU2 3-542-1002A
Cincinnati Milacron 3-533-0465G 塑胶板
Cincinnati Milacron 3-533-0839G 塑胶板
Cincinnati Milacron 3-700-0186A 3-424-2015 机架
Cincinnati Milacron 3-533-0700G 35330700G 电路板
Cincinnati Milacron RPC-186 操作界面
Cincinnati Milacron 1-635-0108-001电源
Cincinnati Milacron 11-1017-00 电路板
Cincinnati Milacron 3282190-01 存储板
Cincinnati Milacron 3-542-1174A
Cincinnati Milacron 3-531-4447 机架
Cincinnati Milacron 3-533-1010G REV. A
Cincinnati Milacron BDS4 直流伺服驱动模块
Cincinnati Milacron 850SX BOARD 3-542-1016A
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Cincinnati Milacron DIMP3 3-711-2704G
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Cincinnati Milacron 3-424-1877A
Cincinnati Milacron 3-525-0828A
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Cincinnati Milacron 3-531-4000A
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Cincinnati Milacron A850SX SRCO RCO 3-542-1169A
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Cincinnati Milacron P-55 伺服控制器
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Cincinnati Milacron 827563 电路板
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Cincinnati Milacron 3-531-4609A FD3 软盘控制器
Cincinnati Milacron BDS4A20623412W32
Cincinnati Milacron 3-531-3957A #34951 热电偶界面
Cincinnati Milacron 850SX SACO
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Cincinnati Milacron 3-530-5033 继电器板
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Cincinnati Milacron 6235LR
Cincinnati Milacron 4-531-4020A 电路板
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Cincinnati Milacron 3-531-3915A
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Cincinnati Milacron 3-711-2587G #8113
Cincinnati Milacron 3891031-300 编码器
Cincinnati Milacron 844289 电路板
Cincinnati Milacron 3-531-4647A
Cincinnati Milacron 3-531-3973A
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Cincinnati Milacron 3513A 3-533-0018G
Cincinnati Milacron 3-531-3553A 存储板
Cincinnati Milacron 3-531-3753A 底板(母)板
Cincinnati Milacron 3-531-3465A 伺服主板
Cincinnati Milacron 3-533-0127 电路板
Cincinnati Milacron PIO 3-531-4416A 探针界面
Cincinnati Milacron 3-531-3353A 继电器板
Cincinnati Milacron 3-531-4348A
Cincinnati Milacron 3-531-4075A
Cincinnati Milacron 3-531-4351A
Kawasaki C61C-B002 机器人控制器
Kawasaki C62C-A002 机器人控制器
Kawasaki C61D-A002 0190-06224 机器人主控制器
Kawasaki C61D-A001 0190-05091 机器人主控制器
Kawasaki CB1C-B002 0190-06225 机器人控制器
Kawasaki 0190-12377 机器人控制器
Kawasaki 1AE-54
Kawasaki 30C61C-B002 0190-12377 机器人控制器
Kawasaki 30C61C-B004 机器人主控制器
Kawasaki 30C61D-B001 0190-12378 机器人主控制器
Kawasaki 30C61E-B008 控制器
Kawasaki 30D62D-A001
Kawasaki 50607-1005554 伺服放大器
Kawasaki 50607-1020 68AA050FXR00 伺服放大器
Kawasaki 50607-1020 65AA015FXR00 伺服放大器
Kawasaki 50607-1273
Kawasaki 50607-1074R02 #7763LR
KAWASAKI 50607-1074R03 机器人驱动板
Kawasaki 50607-1076R02 #7764LR
Kawasaki 50607-1075R02 #7765LR
Kawasaki 50607-1087R00
Kawasaki 50607-1091
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Kawasaki 50607-1348
Kawasaki 50607-1351 506071351
Kawasaki 50607-1474 0190-32504 机器人伺服放大器
Kawasaki 50632-1014 BP100X26
Kawasaki 50817-1002 L10 J1 机器人示教器
Kawasaki 50819-1122 Rev.C
Kawasaki 50998-2252 印刷电路板
Kawasaki 50999-1100 509991100
Kawasaki 50999-1256R23 1AS-52
Kawasaki 50999-1256R25 1AS-52
Kawasaki 50999-1295R32 PCB 机器人线路板
Kawasaki 50999-1360R30 1AS-53
Kawasaki 50999-1515 机器人控制板
Kawasaki 50999-1545R20 #7783LR
Kawasaki 50999-1547 1FG 电路板
KAWASAKI 50998-1549 驱动板
Kawasaki 50999-1549R10
Kawasaki 50999-1557 R10
KAWASAKI 50999-1563R22 1AS-52
Kawasaki 50999-1601
Kawasaki 5099-1600R11 F33BBMO 机器人控制器
KAWASAKI 50999-1600R10
KAWASAKI 50999-1600R11
Kawasaki 50999-1607 509991607
Kawasaki 50999-1760 R03
KAWASAKI 50999-1760R03 1GA004959 Intel i960 PCB
KAWASAKI 50999-1769R10 机器人控制板
Kawasaki 50999-1859 003AC MG4Z T4906 71C 印刷电路板
Kawasaki 50999-1919
Kawasaki 50999-2105 0190-12282
Kawasaki 50999-2145
KAWASAKI 50999-2217
Kawasaki 50999-2250 LD-51 0190-12283
Kawasaki 50999-2276 0190-12285
Kawasaki 50999-2847 509992847
Kawasaki 50999-1693
Kawasaki 68AA150TFR01 #7757LR 伺服放大器
Kawasaki 68AA050TXR21 #7760LR 伺服放大器
Kawasaki 9MJ-21 9MJ-31 MJ-11 1697220 控制板
Kawasaki 9ZA-51
Kawasaki 9ZR-32 9ZR32
Kawasaki TRC-5052
Kawasaki 4Q1731 伺服阀
Kawasaki 1CK005582机器人驱动板
Kawasaki FPF8050HF UGA-KHI #7758LR 控制面板
Kawasaki BP100X26 #7759LR
KAWASAKI 9TK-41
Kawasaki 1GK-31 part# 50607-1086R00 #7774LR
Kawasaki PAUK 2-00 #7751LR
Kawasaki PAUY2-00 #7749LR
Kawasaki PAUX2-00 #7750LR
KAWASAKI E-STOP
KAWASAKI 1AS-52 TPB-S
KAWASAKI 9ZA-51 TPB-D
KAWASAKI S82W-604
KAWASAKI 50999-1547
KAWASAKI 50999-1761R05
Kawasaki 50607-1048R03 #7761LR
Kawasaki IDC001237 #7762LR
Kawasaki 50999-1256 #7743LR
Kawasaki 50632-1020522 1020
KAWASAKI 50607-R031048
KAWASAKI 1BP-55
Kawasaki P918 A102 (4085)
KAWASAKI 50999-1600R10
Kawasaki 10999-TL00 10999TL00
Kawasaki CCPC0283 #7737LR
Kawasaki CCPC0268 #7738LR
Kawasaki 50999-1295R30 #7745LR
Kawasaki 1AE-53 50999-1121R24 #7732LR
Kawasaki 1AE-54 50999-1464R41 #7733LR
Kawasaki 50999-1384R04 #7734LR
Kawasaki 50999-1769 509991769
KAWASAKI 50999-1769 1GW-51 1GW-11
Kawasaki 50999-1091R19 #7771LR
Kawasaki 50999-1091#7772LR
Kawasaki 92B-51#7773LR
KAWASAKI 10999SV11
Kawasaki 50999-2110R04 509992110R04
Kawasaki 50999-1599R10
KAWASAKI 50999-1599R10 509991599R10
Kawasaki TOY5362C #14029
Kawasaki 50817-1007
Kawasaki CCPC0267 SFI03-00 #77780LR
KAWASAKI 50999-1895R01 9ZP-30
Kawasaki CCPC0449 #7931LR
Kawasaki 1BX-51
Kawasaki 1GK-11 1GK003528 50607-I086R00
KAWASAKI 9ZG-31
KAWASAKI 9TL-31
KAWASAKI IDT-50
Kawasaki 1HY-31 MF4Y12 控制板
Kawasaki 1BX-51 IF6902 机器人线路板
Kawasaki 1BP-55 机器人线路板
Kawasaki 1AS-53 机器人线路板
NACHI RCX4400
NACHI RBX1100
Nachi RBX1100 RBX1100G
NACHI RIX1140 R1X1140
Nachi AUXL111 #5376
NACHI RFX1100 RFX 1100
NACHI AUXL111A
NACHI DUX111B
Nachi UM837A (4398)
NACHI NEP-60-3.7VC1A3-P-5100A
Nachi RFX1100G-03#3326 RFX1100G03#3326
NACHI RAX23-10-C
Nachi UM098B1592022766
NACHI AUY333CNACHI AUXL111C-AO
Nachi DUX111
NACHI RFX1140TLC
NACHI ESD-G01-C5
NACHI UM860B
NACHI DUXL111B DUXL111
NACHI UM851A
NACHI AUX111 M/C8608 S/H/V AXIS
NACHI UM852A
NACHI FC-1033
Nachi UM803A
NachiPVS-1B-16N1-Z 12
Nachi UM858
NACHI EPZ-P06-2-D2-6371C
Nachi UM887
NACHI UM160-10
NACHI RKX1120
Nachi RAX 23
NACHI NPU705
Nachi USV-OA-A2-0.4-4-1703C
NACHI UM160C
NACHI RAX11C
Nachi UM858
Nachi UM884A
NACHI RFX 1100G-03 #3264 (6)
NACHI UM098B
NACHI UM812C
Nachi 13-02122633
NACHI UM873D
NACHI UM836C
Nachi UM887 W/ UM104
Nachi UM883A W/ UM884A
NACHI UM839A
NACHI FG10-373-20
NACHI UM870C
Nachi UM887A
NACHI UM860A
NACHI UM870B
NACHI UM802C
NACHI N80-PC NIA8-0015-A NIA8
Nachi AR52
NACHI UM887A
NACHI DUY222 S/H/V R2/B/R1 AXIS
Nachi UM116-10
NACHI FJK2005A
NACHI UM870A
Nachi UM-837A #3311
Nachi 11-02122017
NACHI UM124B
Nachi BUXL111
NACHI UM098B
Nachi BUXL111 #3363
NACHI UM801D
Nachi UM836A #3714
Nachi UM218A
NACHI FJK7002A
NACHI UM802C-10
NACHI UM-837A 20-94032071 UM-837A20-94032?071
NACHI UM873D
NACHI CUXL 111B-AO #3262 (2) CUXL111B-AO
NACHI UM834-8633-W UM834E
NACHI UM820A RT-A
Nachi UM880A
NACHI UM801D IMEP-ROM
NACHI AUXL111C AUXL111
NACHI N80-PC UM858
NACHI UM873D
NACHI FJK2005A
Nachi 11-02122164
Nachi 21-02122098
NACHI PSUA60B
NACHI UM807C
NACHI UM812B
NACHI RTC001A
Nachi EDA-PD1-NWZ-D2-11(ELE1336)
Nachi SS-G03-C4-R-C115-E21
NACHI UM880B UM880-10 AR-52
Nachi UM802E #3692
NACHI UM-316A UM316A
Nachi FJK2005#5731
NACHIEDA-PD1-NWZ-D2-11
NACHI CUXL111B-AO
NACHI UM840
NACHI UM816B
NACHI 11-02122367
NACHI SUD-301A
NACHI UM134
NACHI UM895
NACHI UM803A MEC-40V-0 CARD MEC-40V
NACHI UM842 N80-MP2
NACHI UM873C
NACHI UM 119 B #3265 (20) UM119B
NACHI UM 127 A #3266 (20) UM127A 机器人控制板
NACHI UM 860-1 #3269 (3) UM860-1 机器人控制板
NACHI UM 836 C #3272 (2) UM836C 机器人控制板
NACHI S-G01-A3X-GRZ-D2-32 电磁阀
NACHI S-G01-A3X-GRZ-D2-32#970 电磁阀
NACHI S-G01-B3X-GRZ--D2-32 电磁阀
NACHI S-G01-C6-GRZ-C2-32 SG01C6GRZC232A
NACHI S-G01-C6S-GRZ-D2-9390A 电磁阀
NACHI SA-G01-C5-C1-11 SAG01C5C111 电磁阀
HCS EKB-04
HCS DAC-44-01-270-XLT
HCS DMA-22-02-270-4MSTBU-S0
Allen Bradley AB 1336F-A010-AN-EN-HCS1-L5
Allen Bradley AB 1336F-B050-AA-EN-HCS1-L6
Allen Bradley AB 1336F-B075-AA-EN-HCS2-LA1-L6
Allen Bradley AB 1336F-B100-AN-EN-HCS2-L6
Allen Bradley AB 1336F-B125-AA-EN-GM1-HCS2
Allen Bradley AB 1336F-BRF15-AA-EN-HCS2-L8E
Allen Bradley AB 1336F-BRF30-AN-EN-HCS2-L5
Allen Bradley AB 1336F-BRF30-AA-EN-HCS2-L6
Allen Bradley AB 1336F-BRF30-AA-EN-HCS2-LA4-L6
Allen Bradley AB 1336F-BRF50-AA-EN-HCS1-L5#10847
Allen Bradley AB 1336F-BRF50-AA-EN-HCS2-L6
Allen Bradley AB 1336F-BRF75-AA-EN-HCS2
Allen Bradley AB 1336F-BRF75-AA-EN-HCS2-L5
Allen Bradley AB 1336F-BRF75-AA-EN-HCS2-L6
Allen Bradley AB 1336F-BRF100-AA-EN-HCS2
Allen Bradley AB 1336F-BRF150-AN-EN-HCS2
Allen Bradley AB 1336F-BRF150-AN-EN-HCS2-L6
Allen-Bradley AB 1336F-BRF200-AN-EN-HCS1-L4
Allen Bradley AB 1336F-BRF200-AA-EN-HCS2-L9E
Allen Bradley AB 1336F-C030-AN-EN-HCS2-C6
Allen Bradley AB 1336F-CWF10-AA-EN-HCS1-L6
Allen Bradley AB 1201-HCS2
Allen Bradley AB 1201-HCS1
MECS 0F250 WAFER HANDLER
MECS UTC800 机器人控制器
MECS UTC100
MECS UTX 1010
MECS YC505
MECS OFH3000-001
MECS TUTVF2500H
MECS AL100
MECS CS-7000
MECS CYBEQ UTC100 UTC-100 机器人控制器
Sieb & Meyer 26.36.2 电源
Sieb & Meyer 21.35.01.32A 自动化模块
Sieb & Meyer CSS91 主轴处理器
Sieb & Meyer 26.39.27
Sieb & Meyer 26.45.3 自动化电源模块
Sieb & Meyer 26.45.26 直流伺服模块
Sieb & Meyer 26.45.32 电源模块
Sieb & Meyer 26.36.015.11 伺服放大器模块
Sieb & Meyer 26.39.27 REV 3
Sieb & Meyer 26.44.29
Sieb & Meyer 44.01.7D
Sieb & Meyer 26-44-18CC
Sieb & Meyer 26.36.2 26.37.04A2
Sieb & Meyer 21.35.02.4
Sieb & Meyer 26.36.3
Sieb & Meyer 26.36.37
Sieb & Meyer 26.36.16 电路板
Sieb & Meyer 26.39.058.2 伺服板
Sieb & Meyer CSS91 43.11.03 主轴处理器
Sieb & Meyer K-258958 2.1 26.39.058
Sieb & Meyer 26.36.12 伺服放大器模块
Sieb & Meyer 26.36.16 TYPE M5 伺服放大器模块
Sieb & Meyer 26.36.15 TYPE M3 电源模块
Sieb & Meyer 26.36.55 26-36-55 驱动器模块
Sieb & Meyer 26.37.05A2 伺服驱动控制
Sieb & Meyer 26.39.27 263927 交流伺服驱动模块
Sieb & Meyer 26.39.5 电源模块
Sieb & Meyer 26.44.26 TYPE M3 伺服驱动速度控制器
Sieb & Meyer 26.44.29
Sieb & Meyer 26.50.65H 电源模块
Sieb & Meyer AFS K260482-23 R-SERVO-2.1
Sieb & Meyer CSS90 #15235 主轴处理器
Sieb & Meyer CSS90 # K256961
Sieb & Meyer CSS 90 # K2569959 43.01.06A CSS90 主轴输出板
Sieb & Meyer CSS90 43.01.05.2 电路板
Sieb & Meyer CSS91 处理器模块
Sieb & Meyer 79034 25-44-25C 伺服控制器
DENGENSHA PMU-0531-3 #22738 逆变器板
DENGENSHA PMU-0531-1 #23132 逆变器板
DENGENSHA PCC-0275 电路板
DENGENSHA PF-0482 电路板
DENGENSHA PHF-0329-1S 电路板
DENGENSHA PT-0328-1 电路板
DENGENSHA PFI-0533-3-SK3A
DENGENSHA DGN-2 DGN2 电路板
MURR ELEKTRonIK POWER SUPPLY MCS40
MURR ELEKTRonIK POWER SUPPLY MCS20
Mazak System Board D65UB002740
Shimadzu TMP 2001-LME 真空涡轮泵
Shimadzu TMP-2203 LM 真空涡轮泵
Shimadzu TMP-3403LMTC 3620-00486 真空涡轮泵
Shimadzu TMP-3203LMC-K1 真空涡轮泵
Shimadzu TMP-3203LMEC-K1 真空涡轮泵
Shimadzu TMP-3203LMC-A1 3620-00145 真空涡轮泵
Shimadzu TMP2003LM-C 涡轮泵
Shimadzu TMP-3403LMC 3620-00454 Shimadzu
Shimadzu TMP-3403LMTC 真空涡轮泵
Shimadzu TMP-3403LMC 真空涡轮泵
Shimadzu TMP-3203LMC-K1 真空涡轮泵
Shimadzu TMP-3203LMC-K1 VG300 真空涡轮泵
Shimadzu TMP-3203LMEC-K1 真空涡轮泵
Shimadzu TMP-H3603LMC-A1
Shimadzu EI-3203MD 涡轮泵控制器
Shimadzu TMP 3403LMC (A2) 涡轮分子泵
Shimadzu TMP 280-L 真空涡轮泵
Shimadzu EI-3203MD TMP-3203LMEC 涡轮泵控制器
ShImadzu EI-D1103M 涡轮泵控制器
Shimadzu TMC-3202LMC-K1 真空涡轮泵
Shimadzu EI-D3603M 轮泵控制器
Shimadzu TMP-3203LMC-A1 涡轮泵
Shimadzu EI-3203MD 涡轮泵控制器
Shimadzu EI-3203MD-A1 涡轮泵控制器
Shimadzu EI-3203MD 涡轮泵控制器
Shimadzu 280-L 真空涡轮泵
Shimadzu TMP 280-L 涡轮泵
Shimadzu TMP-303LM 303-LM
Shimadzu EI-3203MD 涡轮泵控制器
Shimadzu EL-281 涡轮泵电源
Shimadzu board 501-72536E assy 501-72535C
Shimadzu board 501-69697C assy 501-69696D
Shimadzu board 501-69697D assy 501-69696D
Shimadzu board 501-72536D assy 501-72535B
Shimadzu board 501-71653J assy 501-71652H
Shimadzu board 501-71651K assy 501-71650J
Shimadzu board 501-71659D assy 501-71658C
Shimadzu board 501-79572 J
Shimadzu CPU assy 638-72430
Shimadzu assy 228-34148-93
Shimadzu SBC 8601 board 202-59845-05
Shimadzu DSP-R 206-17194
Shimadzu SBC-8602A 202-50235-84
Shimadzu SBC-8602A 202-50235
Shimadzu RF-CPU-V20-EMC 206-85313-91
Shimadzu TMP-280 涡轮分子泵
Shimadzu EI-3203MD 涡轮泵控制器
Shimadzu LC-6AD
Shimadzu TMP-203M 涡轮分子泵
Shimadzu TMP-280-L 涡轮分子泵
Shimadzu part 638-72274-01 TOCAT4
Shimadzu SCL-10A 系统控制器
Shimadzu CPU board 206-12679
Shimadzu RF-CPU V02 206-60505-05
Shimadzu assy 206-14943H 206-14945H
Shimadzu TMP-2001-LM-E
Shimadzu part 206-11281
Shimadzu part 206-12682
Shimadzu 638-72457
Shimadzu part 541-18591D 541-18592E
Shimadzu part 204-77157 NEW
Shimadzu GFA-4B CPU 206-16355
Shimadzu 541-18247E 541-18248D